《固态电路杂志》近日发表了南京理工大学苏岩团队关于微电子机械系统（MEMS）的研究成果。该成果大大提高传感器的稳定性（精度），其性能达到国际已知最高水平。

惯 性传感器是检测和测量加速度、倾斜、冲击、振动、旋转和多自由度（DoF）运动的传感器。采用MEMS工艺制造的惯性传感器通常只有几毫米甚至更小；而专 用集成电路（ASIC）则可以将成千上万的晶体管电路集成于一块芯片，同样具有